本报讯 (重庆日报见习记者 王天翊)日前,记者从两江新区获悉,可填补国内中高端MEMS(微机电系统)半导体传感器芯片研发、生产空白的两江智能装备产业园,预计明年4月试生产。投产后预计年产能达5万个晶圆,年产值6亿元,将助力我国MEMS传感器芯片研发与工艺达到世界先进水平。
据介绍,该项目将主要开展半导体传感器芯片设计、制造工艺、专用装备制造等全技术链条研究,将实现紫外-可见-近红外系列微型光谱仪核心光学元器件、光学系统、专用采集卡、配套软件、系统一体化集成装调等核心部件的研发制造,并基于工业互联网和专家系统,利用机器学习、大数据智能化、物联网等新技术,实现对设备全生命周期状态监测、故障诊断和健康管理。