新华社北京电 （记者 魏梦佳）清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与德国的研究团队报告了一种名为“稳态微聚束”（SSMB）的新型粒子加速器光源的原理验证实验。

　　据了解，在实验中，研究团队利用波长1064纳米的激光操控环形加速器内的电子束，使电子束绕加速器一整圈（周长48米）后形成精细的微结构，即“微聚束”。研究人员发现，微聚束会在激光波长及其高次谐波上辐射出高强度的窄带宽相干光，通过探测该辐射可验证微聚束的形成，由此证明了电子的光学相位能以短于激光波长的精度逐圈关联起来，使得微聚束可被“稳态”地保持，从而验证了稳态微聚束的工作机理。

　　“稳态微聚束光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源。”唐传祥教授表示，大功率EUV光源的突破对于EUV光刻进一步的应用和发展至关重要，“基于稳态微聚束的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。”

　　该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光的特性，未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。